PBN – 要求の厳しい高温および高純度用途向けに設計
熱分解窒化ホウ素（PBN）は、化学気相蒸着（CVD）プロセスによって成長した超高純度材種の窒化ホウ素で、独自の構造を持つ固体です。優れた純度と安定性を備えたPBNは、耐高温性と汚染のない環境の両方を必要とする用途に最適です。厚さ3mmまでの平板またはカスタムシェイプで利用可能なPBNは、精密るつぼを含む半導体および分子線エピタキシー用途で広く使用されています。
PBNの技術的特性
| 組成 | 最高使用温度 (ºC) | 密度 (g/cm3) | 曲げ強度 (RT) (MPa) | 圧縮強度 (MPa) | C.T.E （20°C～1000°C x 10-6） | 熱伝導率 (W/m K) | 絶縁耐力 (KV/mm) | 体積抵抗率 (Ω*cm) | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| PBN | – | 850 空気、 2000 不活性 | 1.9～2.1 | 115 | – | 15.5 "c" 3.0 "a" （-40～150°C） | 1.6 "c" | 230 "c" | 1015 |
製品の特性
- 超高純度の固体窒化ホウ素
- 化学気相蒸着法（CVD）で成長
- 平板またはカスタムシェイプから機械加工可能
- 高温および高真空環境での安定性
メリット
- 比類のない純度と構造的一致性
- 汚染が重要な課題となる用途に最適
- 特殊用途向けにカスタマイズ可能な形状
- 極端な温度や真空状態に耐性がある
PBNの用途
- MBE（分子線エピタキシー）るつぼと設備
- 高純度環境に適した電気絶縁体
- 真空炉用の絶縁
- LEC（液体封止チョクラルスキー法）およびVGF（垂直温度勾配凝固）結晶成長用のるつぼと部品
- 発熱体の支持体
