PBN Component

PBN – 까다로운 고온 및 고순도 응용 분야를 위해 설계

열분해 질화붕소(PBN)는 화학기상증착법(Chemical Vapor Deposition, CVD) 공정을 통해 성장시킨 초고순도 재종의 질화붕소로, 고유한 구조를 가진 고체입니다. 순도와 안정성이 뛰어난 PBN은 고온 저항성과 오염 없는 환경이 모두 필요한 응용 분야에 안성맞춤입니다. 최대 3mm 두께의 평판 또는 맞춤형 형상으로 제공되는 PBN은 정밀 도가니를 포함한 반도체 및 분자선 결정 성장 시스템 응용 분야에 널리 사용됩니다.

PBN의 기술적 특성

 구성최대 사용 온도(ºC)밀도(g/cm3)굴곡 강도(RT)(MPa)압축 강도(MPa)C.T.E
(20ºC~1000ºC x 10-6)
열전도율(W/m*k)절연 강도(KV/mm)부피 저항률(ohms*cm)
PBN850 공기,
2000 불활성
1.9 - 2.111515.5 "c"
3.0 "a"
(-40~150ºC)
1.6 "c"230 "c"1015

제품 특성

  • 초고순도 고체 질화붕소
  • 화학기상증착법(CVD)을 통해 성장
  • 평판 또는 맞춤형 형상으로 가공 가능
  • 고온 및 고진공 환경에서 안정적

장점

  • 타의 추종을 불허하는 순도 및 구조적 일관성
  • 오염이 중요한 응용 분야에 이상적
  • 특수 용도를 위한 맞춤형 형상
  • 극한 온도 및 진공 조건에 대한 저항성

PBN의 응용 분야

  • 분자선 결정 성장 시스템(MBE) 도가니 및 관련 부품
  • 고순도 환경을 위한 전기 절연체
  • 진공로 절연
  • 액체 캡슐화 초크랄스키법(Liquid Encapsulated Czochralski, LEC) 및 수직 경사 응고법(Vertical Gradient Freeze, VGF) 결정 성장용 도가니 및 구성품
  • 발열체 지지대

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